電子ビーム検査

AEは、プラズマパワーデリバリー、温度測定、温度制御、ウェハ制御ソリューションなど、半導体成膜のための総合的なポートフォリオを提供しています。

アドバンスドエナジーの高精度プラズマパワーデリバリーシステムは、高い再現性と歩留まりを実現するために、エッチングプロセスを厳密に制御します。

AEパワー製品は、イオンエネルギーを正確に制御するために、効率と出力密度の最適化に重点を置いて設計されています。

プラズマエッチングにおける電力の精密制御は、ウエハ表面を完璧にストリップし、潜在的な欠陥のない状態にするために極めて重要です。